由山东大学王克明等完成

    该项目属于材料表面和界面研究，主要涉及核技术与材料科学和信息科学交叉的新领域。
    该项目主要研究成果为：（1）系统研究了离子注入光波导。提出“高能重离子低剂量”形成波导区折射率增加型光波导的新模式并成功制备了条形光波导。用“高能重离子低剂量”和“高能轻离子高剂量”两种模式在18种新型光电晶体中形成光波导，约占国际上离子注入光电晶体形成光波导总数的1/3，进一步阐明了形成机理。（2）用离子注入和激光脉冲沉积法（PLD）研究了KTP晶体的稀土元素掺杂问题，发现用PLD法可以实现KTP晶体高浓度（百分之几原子比）掺Er的光波导激光薄膜。（3）系统研究了重离子注入光电晶体和硅中的射程和损伤（缺陷）分布，以及Hg离子在光电晶体中的射程分布规律。进行了有控制地利用损伤来研制光波导和二次缺陷消除的研究。根据Biersack角扩散模型（PRAL），发展了一种计算重离子在多元靶中的平均投影射程和射程离散的有效方法。（4）提出了离子束混合必须考虑化学驱动力，并建立了离子束感生界面反应和原子混合的唯象模型，较全面地描述了离子束混合机理。
    该项目有188篇论文被SCI收录，其中影响因子大于2的有38篇。被SCI刊物他引558次，其中被影响因子大于2的SCI刊物他人引用115次，多次应邀在国际学术会议上做特邀报告。